西人马产品总监谢巍博士：MEMS压力传感器在民用航空领域中的应用

2020年09月25日 09:21:14 来源：中文科技资讯

　　9月24日，中国(上海)国际传感器与应用技术展览会进行到第二天，西人马除了发布塔斯云平台等新品之外，还带来了多款重点产品。

　　MEMS压力传感器产品是西人马的明星产品，为了满足市场对不同应用场景的需求，西人马一直在扩充自己的MEMS压力传感器产品矩阵。

　　中高温传感器一直是MEMS压力传感器中难度较大的一个领域，迫于技术压力，国内很少有企业成功研发并生产出中高温压力传感器，民用航空领域一直使用国外进口产品，价格较为昂贵。西人马是由民用航空传感器产品起家，拥有滑油传感器、加速度传感器等先进的航空传感器产品。在看到国内中高温压力传感器的空白之后，西人马决心用自主创新技术攻克行业难题，给民用航空领域的客户更多选择性。目前，西人马已研发生产出从常温到高温的一系列MEMS压力传感器，能够广泛应用于民用航空领域。

　　9月24日下午的第五届压力传感器创新产业论坛现场，西人马公司产品总监谢巍先生进行了“MEMS压力传感器产品及其在航空测试中的应用”的主旨演讲，深入讲解了西人马产品在民用航空领域中的应用与优势。

　　▲西人马公司产品总监谢巍先生在现场进行讲解

　　西人马民用航空领域的MEMS压力系列产品主要是压阻式压力芯片及传感器，包括高温压力芯片、常温动态压力传感器、高精度压力传感器、超薄动态压力传感器和高温动态压力传感器。

　　作为知名的芯片IDM公司，西人马芯片采用全自主设计，不需要依靠传统EDA软件设计库，具备从深亚微米制程中进行大规模数模混合SoC集成电路的自主开发及设计能力以及基于MEMS传感器芯片工艺开发能力。并且，西人马在2018年取得了AS9100D航空航天质量管理体系认证，近日，经过世界知名认证机构DNV审核组为期5天的现场审核，西人马通过2020年AS9100D航空航天质量管理体系年度审核。西人马在质量管控方面追求品质零缺陷，致力在提升客户满意度的同时打造绿色环保的生产制造环境。

　　CD0304/CD0305系列中高温压力芯片

　　西人马CD0304/CD0305系列芯片能够在-40℃~260℃的环境中使用，分别适用于15psi量程的绝压测量和50psi量程的绝压测量，综合精度-0.5% FSO ~ +0.5% FSO，能够应用于无腐蚀性、非离子的工作流体，如清洁干燥的空气、干燥的气体等。

　　芯片采用独有的阻条及金属焊盘设计技术，制备出能承受高温、电连接可靠且温飘性能优良的桥臂电阻和金属焊盘。自主开发多层SOI晶圆制备工艺，基于此工艺的中温压力芯片尺寸更小、性能一致性更好。