三星电子正在研发「智能传感器系统」,以提高半导体良率和产能。关键在于精确控制生产过程中的等离子体均匀性和密度,该系统可测量晶圆等离子体均匀性,准确管理蚀刻、沉积和清洗工艺性能。
此举有望缓解对外国传感器的依赖,并提高产量。开发的智能传感器为超小型,不影响现有设备空间,可在提高空间利用率的同时提高产能。未来,三星计划扩大智能传感器应用范围,开发可用于各种半导体工艺的 SMART 传感器和系统。
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