中科院成功研发193纳米固态深紫外激光助力半导体光刻技术突破

2025年03月25日 11:38:41 来源：DoNews

　　中国科学院研究人员近日成功开发出一种突破性固态深紫外(DUV)激光，可发射193纳米的相干光，该波长目前广泛应用于半导体光刻领域。深紫外相干光，尤其是193纳米波长，已成为半导体制造中不可或缺的技术。

　　研究团队提出了一种紧凑型固态纳秒脉冲激光系统，通过复杂的谐波产生和光学参量放大技术，最终在6千赫兹重复频率下生成平均功率70毫瓦的193纳米激光。

　　值得一提的是，该实验首次实现了固态激光产生193纳米涡旋光束，这一成果对种子混合ArF准分子激光器及晶圆加工、缺陷检测等应用具有重要价值。

　　文章内容仅供阅读，不构成投资建议，请谨慎对待。投资者据此操作，风险自担。

即时

根据2月底内部沟通会上的消息，在美团发展的第二个十年，“科技”成了公司创始人兼CEO王兴会更多关注的方向之一。

奥维云网(AVC)推总数据显示，2024年1-9月明火炊具线上零售额94.2亿元，同比增加3.1%，其中抖音渠道表现优异，同比有14%的涨幅，传统电商略有下滑，同比降低2.3%。

“以前都要去窗口办，一套流程下来都要半个月了，现在方便多了!”打开“重庆公积金”微信小程序，按照提示流程提交相关材料，仅几秒钟，重庆市民曾某的账户就打进了21600元。

华硕ProArt创艺27 Pro PA279CRV显示器，凭借其优秀的性能配置和精准的色彩呈现能力，为您的创作工作带来实质性的帮助，双十一期间低至2799元，性价比很高，简直是创作者们的首选。

9月14日，2024全球工业互联网大会——工业互联网标识解析专题论坛在沈阳成功举办。