在2025年韩国半导体展览会上,Park Systems发布了扩展版FX大型样品AFM系列,包括专为300毫米晶圆分析设计的Park FX300,以及集成红外(IR)光谱技术的Park FX200 IR和FX300 IR。
新系列通过自动化探针识别与更换、二维码系统和AI驱动的激光对准功能,显著提升了设备的可用性和操作流畅性。
此外,StepScan功能的加入进一步提高了分析效率,使研究人员能够在最少人工干预的情况下完成多种特性分析。这一创新为半导体领域的研究与生产提供了更高效、更精准的解决方案。
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